ICP500T स्व-उत्तेजित ठोस-राज्य आरएफ बिजली आपूर्ति और द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक गैस सर्किट के साथ परिवर्तनीय आवृत्ति शक्ति प्रेरणात्मक रूप से युग्मित प्लाज्मा उत्सर्जन स्पेक्ट्रोमीटर